Dichlorosilane

Dichlorosilane
 
Structure du dichlorosilane
Identification
Nom UICPA dichlorosilane
Synonymes

DCS

No CAS 4109-96-0
No ECHA 100.021.717
No CE 223-888-3
PubChem 61330
SMILES
[SiH2](Cl)Cl
PubChem, vue 3D
InChI
Std. InChI : vue 3D
InChI=1S/Cl2H2Si/c1-3-2/h3H2
Std. InChIKey :
MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N
Apparence gaz incolore d'odeur piquante
Propriétés chimiques
Formule H2Cl2Si  [Isomères]
Masse molaire[1] 101,007 ± 0,004 g/mol
H 2 %, Cl 70,2 %, Si 27,81 %,
Propriétés physiques
T° fusion −122 °C[2]
T° ébullition 8,4 °C[2]
Solubilité hydrolyse
Masse volumique 1,261 g·cm-3[2]
T° d'auto-inflammation 184 °C[2]
Point d’éclair −28 °C[2]
Limites d’explosivité dans l’air de 2,5 % vol. à 80,0 % vol[2].
Pression de vapeur saturante 166,6 kPa[2] à 20 °C
Point critique 176,3 °C, 4,378 MPa, 0,479 g·cm-3[2]
Précautions
SGH[2]
SGH02 : InflammableSGH04 : Gaz sous pressionSGH05 : CorrosifSGH06 : Toxique
Danger
H220, H280, H314, H330, EUH071, P210, P260, P280, P315, P377, P381, P303+P361+P353, P304+P340, P305+P351+P338, P403 et P405
H220 : Gaz extrêmement inflammable
H280 : Contient un gaz sous pression ; peut exploser sous l'effet de la chaleur
H314 : Provoque de graves brûlures de la peau et des lésions oculaires
H330 : Mortel par inhalation
EUH071 : Corrosif pour les voies respiratoires
P210 : Tenir à l’écart de la chaleur/des étincelles/des flammes nues/des surfaces chaudes. — Ne pas fumer.
P260 : Ne pas respirer les poussières/fumées/gaz/brouillards/vapeurs/aérosols.
P280 : Porter des gants de protection/des vêtements de protection/un équipement de protection des yeux/du visage.
P315 : Consulter immédiatement un médecin.
P377 : Fuite de gaz enflammé : Ne pas éteindre si la fuite ne peut pas être arrêtée sans danger.
P381 : Éliminer toutes les sources d’ignition si cela est faisable sans danger.
P303+P361+P353 : En cas de contact avec la peau (ou les cheveux) : enlever immédiatement les vêtements contaminés. Rincer la peau à l’eau/se doucher.
P304+P340 : En cas d'inhalation : transporter la victime à l’extérieur et la maintenir au repos dans une position où elle peut confortablement respirer.
P305+P351+P338 : En cas de contact avec les yeux : rincer avec précaution à l’eau pendant plusieurs minutes. Enlever les lentilles de contact si la victime en porte et si elles peuvent être facilement enlevées. Continuer à rincer.
P403 : Stocker dans un endroit bien ventilé.
P405 : Garder sous clef.
Transport[2]
263
   2189   
Code Kemler :
263 : gaz toxique, inflammable
Numéro ONU :
2189 : DICHLOROSILANE
Classe :
2.3
Étiquette :
pictogramme ADR 2.3
2.3 : Gaz toxiques (correspond aux groupes désignés par un T majuscule, c'est-à-dire T, TF, TC, TO, TFC et TOC).
Emballage :
-
Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.
modifier 

Le dichlorosilane est un composé chimique de formule SiH2Cl2. Il se présente sous la forme d'un gaz incolore d'odeur piquante extrêmement inflammable et susceptible de former des mélanges explosifs avec l'air. Il est principalement utilisé dans l'industrie microélectronique avec l'ammoniac NH3 pour déposer des couches minces de nitrure de silicium Si3N4 par dépôt chimique en phase vapeur basse pression (LPCVD) :

3 SiH2Cl2 + 4 NH3 → Si3N4 + 6 HCl + 6 H2.

Il est produit essentiellement par dismutation du trichlorosilane SiHCl3[3] avec formation parallèle de tétrachlorure de silicium SiCl4 :

2 SiHCl3   ⇌ {\displaystyle \rightleftharpoons }   SiH2Cl2 + SiCl4.

Notes et références

  1. ↑ Masse molaire calculée d’après « Atomic weights of the elements 2007 », sur www.chem.qmul.ac.uk.
  2. ↑ a b c d e f g h i j et k Entrée « Dichlorosilane » dans la base de données de produits chimiques GESTIS de la IFA (organisme allemand responsable de la sécurité et de la santé au travail) (allemand, anglais), accès le 9 décembre 2012 (JavaScript nécessaire)
  3. ↑ (en) V. M. Vorotyntsev, G. M. Mochalov et M. A. Kolotilova, « Kinetics of Dichlorosilane Separation from a Mixture of Chlorosilanes by Distillation Using a Regular Packing », Theoretical Foundations of Chemical Engineering, vol. 38, no 4,‎ , p. 355-359 (lire en ligne) DOI 10.1023/B:TFCE.0000037184.77958.7c
v · m
Halogénosilanes
Fluore
Chlore
Brome
  • Monobromosilane
  • Dibromosilane
  • Tribromosilane
  • Tétrabromure de silicium
Iode
  • Monoiodosilane
  • Diiodosilane
  • Triiodosilane
  • Tétraiodure de silicium
  • icône décorative Portail de la chimie
  • icône décorative Portail des sciences des matériaux